| कार्य क्षेत्र का आकार (व्यास * ऊंचाई मिमी) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| अंतिम वैक्यूम (Pa) | 1*10-4 | 1*10-3 | 1*10-4 | 1*10-3 | 1*10-4 | 1*10-3 |
| अधिकतम तापमान (डिग्री सेल्सियस) | 2400 | 2500 | 2400 | 2500 | 2400 | 2500 |
| तापमान एकरूपता (डिग्री सेल्सियस) | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 |
| दबाव वृद्धि दर (Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
