| कार्यक्षेत्र का आकार (D*H mm) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| अंतिम वैक्यूम (पा) | 1*10-4 1*10-3 |
1*10-4 1*10-3 |
1*10-4 1*10-3 |
| अधिकतम तापमान (°C) | 2400 2500 |
2400 2500 |
2400 2500 |
| तापमान एकरूपता (°C) | ±75 | ±75 | ±10 |
| दबाव वृद्धि दर (पा/घंटा) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
